TurboDisc MaxBright GaN MOCVD マルチリアクター システム

業界最高レベルの生産性を誇る LED 製造プラットフォーム

TurboDisc MaxBright® GaN MOCVD マルチリアクター システムは、高品質な高輝度発光ダイオード (LED) を製造する MOCVD システムであり、業界最高レベルの生産性を誇ります。MaxBright では、2 台または 4 台の高スループット MOCVD リアクターで構成したリアクター クラスタによるモジュール方式とすることで、生産現場で実績のある Veeco 社の Uniform FlowFlange® テクノロジーと自動化の専門技術を活用しています。この改良型リアクターは、幾多の実績を誇る K465i の設計を基に、ウェハー容量の拡大および独自の最先端クローズドループ温度制御技術を特徴としており、標準型の K465i に対して 25% のスループット向上を果たしています。また、K465i から MaxBright への作業移管をスムーズに行って、迅速な生産移行を図ることができます。

• マルチリアクター構成により業界最高レベルの生産性および最大限のコスト削減を実現
• 業界標準の K465i™ に対して 25% のスループット向上を実現したリアクター
• 標準型 MOCVD システムの 2.5 倍という最高レベルの設置効率
• シングル チャンバーまたはマルチチャンバーでの層成長が可能なシステム構成
• K465i からのスムーズな作業移管による迅速な生産移行