プロセス装置: イオン ビーム蒸着

• 相互交換可能なプラットフォームで、平面、回転またはフィクスチャーに対応
• テレコムへアプリケーションに対応する200、100、および50 GHz DWDM フィルターの高イールドをドを実現。
• 狭い通過域、広い阻止帯域、急勾配や低挿入損失等、厳しいデバイス仕様に対応します。
• ARコーティング、複雑な非1/4波コーティングおよび超低損失レーザーミラーを生成
• 数ppmレベルで吸収および発散するミラーを製作
• 高エネルギープロセスにより、よりよいパッキング密度および低ピンホール密度を実現
• 低圧操作により高膜純度を実現
• 優れた膜厚制御

SOURCERER® システムマネージャー

リアルタイムでアニメ化された独自のグラフィックインターフェースを特徴とし、SOURCERER^®システムマネージャーは、市場イオンビームシステム制御パッケージよりも優れた制御と柔軟性があります。 簡単なコマンドもしくは簡単にインポートされた薄膜設計を使い、プロセスエンジニアは、先端の自動レシピを開発してプロセスを開始し、完了したら戻ることができます。 Veecoの豊富なプロセス知識を生かし、ベースで対応するサービス組織とともに、当社は、販売前、販売後の両方でお客様をサポートします。