計測機器
スタイラス プロファイラ― Dektak システム

特長：

• 1ミリメートルの大きな標準Z範囲により、より大きなステップ測定が可能
• オプションのX-YとYの自動ステージが 200 ロケーション以上のプログラム能力を提供
• 鋳造アルミニウム フレームと、堅いサポート部品
• 容易な測定セットアップ
• 200mmのウエハサポート

利点：

• 数多くの研究および工業分野でのアプリケーション向けの、コスト効果が高く完璧なソリューション
• 効率的な3Dマッピング能力
• 業界をリードする試料の柔軟性
• 業界随一の4オングストロームの再現性
• 業界随一の低騒音フロア

特長：

• 高い再現性、低作動力センサー技術、高度3Dデータ解析を結合
• 7.5オングストローム、1シグマ ステップ高さの再現性、最高1mmまでの垂直範囲
• オーバーヘッドガントリーの設計により、長さ200mmまで走査可能
• N-Lite™ 低作動力センサー オプションの使用により、スタイラスの作動力が0.03mgまで降下可能
• 浅トレンチ分離（STI）のエッチング深度と深い構造の測定に最適な高アスペクト比チップ

利点：

• MEMS、半導体、その他の薄／厚膜の表面特性評価に最適
• 平面性と平面度の測定に最適
• 柔らかい材料に傷を付けずに測定可能
• 非常に鋭いスタイラスを使用し、サブミクロンのラインとスペースの特性評価が可能